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中国实现离子注入机全谱系产品国产化 助力芯片
发布时间:2022-04-14浏览次数:144

  7日从中国电子科技集团有限公司(中国电科)获悉中新网北京3月17日电 (记者 孙自法)记者1,现离子注入机全谱系产品国产化该集团旗下电科装备已成功实,离子注入机一站式解决方案可为全球芯片制造企业提供。

  科介绍说中国电,制造中的关键装备离子注入机是芯片。子源、高速晶圆传输等“卡脖子”关键技术电科装备连续突破大流强长寿命高品质离,特种应用及第三代半导体等离子注入机自主研制出中束流、大束流、高能、,至28纳米工艺段覆盖,发明专利413项已累计形成核心,系离子注入机自主创新发展实现中国芯片制造领域全谱,造领域断链、短链难题将有效缓解中国芯片制。

  研制成功的离子注入机进行相关测试中国电科旗下电科装备科技人员对。科 供中国电图

  科表示中国电,雷火竞技一步下,将瞄准高端电科装备,工艺发展紧跟先进,点离子注入机的研发及产业化加快推进适用于更先进工艺节。

  了解据,信事业“国家队”、国家战略科技力量中国电科是中国军工电子主力军、网,对完备的科技创新体系拥有电子信息领域相。前目,11家上市公司在内的企事业单位500余家中国电科旗下包括47家国家级研究院所、,0余万名员工2,验室、研究中心和创新中心并拥有35个国家级重点实。完()

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